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气体流量控制器

  • 一、 气体流量控制器产品概述 采用关键矽微机械加工技术的 MS流量传感器具有测量微小、小流量的优 势的 MEMS( Microelectromechanicalsystems)气体质量流量计和流量控 制器,主要应用于轻
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一、 气体流量控制器产品概述


       采用关键矽微机械加工技术的 MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的 MEMS( Microelectromechanicalsystems)气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。

二、  气体流量控制器技术参数


2。1 测量介质:空气,氮气,二氧化碳,氩气,氧气,氢气,氦气
2.2 流量范围: DN2:20-10000mL/min
DN3:1000-30000mL/min
注:(a)以上流量的测量介质为空气而言;
(b)以上流量的标准状态 20℃,101。325kPa。
(c)每个口径量程范围均可扩大
(d)特殊需要可联系厂家单独标定
2。3 最大允许误差:±1。5%FS
2.4 精度保证温度:15-35℃;
2.5 工作压力范围:
MFM:工作压力≦1MPa 耐压:3MPa
MFC:工作压差:
≦1L/min:0.05-0.3MPa
1-30L/min:0。1-0。3MPa
耐压:3MPa
2.6 供电电源:24VDC
2.7 输入信号:0-5VDC, RS485通讯
2。8 输出信号:4-20mA,RS485通讯;
2。9 环境温度:5-45℃;
显示位数:瞬时流量为 6位,累积流量 8位。

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